壓電載物臺(tái)·高負(fù)載通孔型 Carrier.S100.xyRz.C

? 高負(fù)載·高速XY平面運(yùn)動(dòng)，Z軸旋轉(zhuǎn)設(shè)計(jì)，保證XY面內(nèi)準(zhǔn)直運(yùn)動(dòng)

• 兩維度 XY 掃描運(yùn)動(dòng)100 um, Z軸旋轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)1 mrad；

• 閉環(huán)分辨率優(yōu)于 1 nm；

• 最大負(fù)載 5 kg；

• 針對(duì)光學(xué)顯微鏡-超分辨定制化解決方案；

• ?持無(wú)磁 (.NM) 和超高真空 (.UHV) 選件升級(jí)；

壓電偏轉(zhuǎn)臺(tái)，高負(fù)載通孔型，XYRz方向——詳細(xì)參數(shù)：

壓電偏轉(zhuǎn)臺(tái)，高負(fù)載通孔型，XYRz方向——尺寸圖：

多場(chǎng)科技“壓電掃描臺(tái)·通孔型"解決方案包括Carrier.S 系列（標(biāo)準(zhǔn)型）和Carrier.SL 系列（輕量型）。Carrier.S & SL系列主要針對(duì)精密光學(xué)，半導(dǎo)體表征等應(yīng)用場(chǎng)景，覆蓋載物臺(tái)“大行程·高精度·重負(fù)載"等需求，核心特點(diǎn)包括：

• 運(yùn)動(dòng)方式覆蓋線性運(yùn)動(dòng) & 俯仰運(yùn)動(dòng)

• X，Z，XY，XYZ & ZTT等運(yùn)動(dòng)形式全面支持

• 線性運(yùn)動(dòng)行程覆蓋100 um 到 300 um (可定制更大行程)

• 支持電容(.C) 位置傳感

• 最高分辨率達(dá)到0.2 nm

• 超快運(yùn)動(dòng)響應(yīng) & 長(zhǎng)時(shí)間疲勞測(cè)試

• 支持無(wú)磁 (.NM) 和超高真空 (.UHV) 選件升級(jí)