低溫壓電掃描臺是一種高精度、高穩(wěn)定性的精密定位設備，是一種利用壓電材料的逆壓電效應，在低溫環(huán)境下進行精密定位與掃描的設備。它能夠在低溫、真空及磁場等*端條件下提供納米級的高精度定位和運動控制，廣泛應用于半導體加工、檢測、高精密測試和操作以及其他真空無磁要求的納米運動控制等領域。

　　本公司提供的低溫壓電掃描臺Scanner16-xy的參數(shù)：

　　1、緊湊的設計，外形尺寸：16 * 16 * 7 mm

　　2、超高真空 & 極低溫兼容：2 E-11 mbar & 30 mK

　　3、無磁材料 純Ti & BeCu組成，兼容 35 Tesla磁場

　　4、高負載：100 g

　　5、行程@300 K：30*30 um

　　6、空間掃描達到 0.8 nm 分辨率

　　低溫壓電掃描臺在半導體加工、檢測、高精密測試和操作等領域有著廣泛的應用。例如，在半導體加工中，它可以實現(xiàn)納米級的精確切割和定位；在半導體檢測中，它可以提供高精度的掃描和測量；在高精密測試和操作中，它可以實現(xiàn)微小尺度的精密操控。